圓晶表面清潔度檢測的重要性

發(fā)布日期：2023-11-09      瀏覽次數(shù)：1148

圓晶表面清潔度檢測的重要性

晶圓表面的潔凈度會(huì)影響后續(xù)半導(dǎo)體工藝及產(chǎn)品的合格率，早期曾有文獻(xiàn)指出，在制造過程中，因未能有效去除晶圓表面的污染而產(chǎn)生的耗損，在所有產(chǎn)額損失中，可能占達(dá) 50% 以上的比例。故上海路陽儀器有限公司根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)客戶需求，研發(fā)出一款FY-18系列臺(tái)式表面檢查燈，三種光源可供選擇，適用于產(chǎn)品表面劃痕、污垢、異物的目視檢查。FY-18系列裝有勻光板，不刺眼，無級(jí)調(diào)光設(shè)計(jì)，客戶可以調(diào)整到自己理想的光照度。采用無風(fēng)扇設(shè)計(jì)，可在潔凈室中使用，50cm靈活的柔性臂，可任意角度照射。

FY-18系列（FY-100R的后繼型號(hào)）

采用LED光源，非常適合目視檢查產(chǎn)品表面的劃痕、污垢、異物等。
更輕松地對半導(dǎo)體零件、顯示器、樹脂產(chǎn)品和精密零件進(jìn)行目視檢查。
通過與二向色濾光片相結(jié)合，變得更容易觀察，并且對眼睛溫和，減輕了工人的壓力。

特征



• 配備18W大功率LED

• 瞬間點(diǎn)亮，無需預(yù)熱

• 具有調(diào)光功能

• 對被照射物體無熱影響

• 由于無風(fēng)扇，因此即使在潔凈室中也可以使用。

• 可通過柔性臂進(jìn)行微調(diào)

光譜分布圖

FY-18N（白色）透明濾光片



安裝綠色濾光片



篩選

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備



清除



擴(kuò)散

可選（單獨(dú)出售）
可在 500 至 600 nm 波長下進(jìn)行檢測。



綠色的



黃色的

產(chǎn)品規(guī)格