可安裝在量產(chǎn)設(shè)備中的膜厚檢測(cè)儀AFW-100W

發(fā)布日期：2021-10-25      瀏覽次數(shù)：1767

可安裝在量產(chǎn)設(shè)備中的膜厚檢測(cè)儀AFW-100W



推薦使用反射光譜膜厚計(jì)用于膜厚測(cè)量應(yīng)用，例如硬涂層。

[機(jī)理] 

當(dāng)樣品受到光照射時(shí)，它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過(guò)薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當(dāng)光的相位匹配時(shí)，強(qiáng)度增加，而當(dāng)光相移時(shí)，強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過(guò)分析該光譜來(lái)測(cè)量薄膜厚度的方法。

[優(yōu)點(diǎn)] 

-與 SEM 和觸針式輪廓儀不同，無(wú)需接觸即可進(jìn)行測(cè)量。
- 與橢偏儀相比，便宜且易于使用。

將來(lái)也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。

模型	AFW-100W
用	對(duì)于一般膜厚
設(shè)備配置	單元主體、測(cè)量臺(tái)、2 分支光纖 (1.5m)、PC
測(cè)量波長(zhǎng)范圍	380-1050nm
膜厚測(cè)量范圍	100nm～1μm（曲線擬合法）
	1 μm 至 60 μm (FFT)
測(cè)量再現(xiàn)性	0.2%-1%（視膠片質(zhì)量而定）
測(cè)量光斑直徑	約7mm
光源	12V-50W鹵素?zé)?/span>
測(cè)量理論	曲線擬合法/FFT法
外形尺寸 (mm)	測(cè)量臺(tái)：W150 x D150 x H115
	機(jī)身：W230 x D230 x H135
大約重量	5.5kg * 不包括 PC
公用事業(yè)	AC100V 50 / 60Hz
轟天猛將	鹵素?zé)?/span>