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      產(chǎn)品展示您現(xiàn)在的位置: 首頁 > 產(chǎn)品展示 >  > 水質(zhì)檢測設(shè)備 >sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801 實驗室冷水機
      
      
      
        
      
          
      
            
      sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801 實驗室冷水機
      
            
      
              
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      更新日期：2024-03-24
      
              
      簡要描述：
      
              
      sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801
      更高容量的機架式冷水機組，用于等離子蝕刻和其他半導體應(yīng)用
      
            
      
          
      
          
      
            
      sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801 實驗室冷水機
      
            
      
              
      
                
        
                  
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      品牌其他品牌產(chǎn)地進口
      冷卻方式水冷式儀器種類分體式
      
                            
                              
                    
      
                
      sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801
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      • 1，800 瓦的冷卻能力 – 在相同的 50U 機架式機箱中，容量比 ThermoRack 1201 高 5%
      • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復性
      • 工作溫度范圍：-20°C 至 80°C
      • 專為非?？焖俚捻憫?yīng)而設(shè)計
      • 提供標準高流量、中流量和低流量配置
      • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應(yīng)
      • 比基于壓縮機的冷水機組節(jié)能高達 80%
      • 采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護成本低
      • 設(shè)計簡單 – 只有 2 個活動部件
      • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
      • 使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
      • 緊湊的尺寸：多達 6 個 TR1801 系統(tǒng)適合 1 臺壓縮機冷水機組的空間
      • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
      • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
      • 等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案
      sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801
      規(guī)格
      工作范圍：
      -20°C 至 80°C（需要 N2/CDA）
      LT 在低于 0°C 時需要選件
      環(huán)境溫度：
      10°C 至 40°C 無冷凝
      穩(wěn)定性/可重復性：
      恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時）
      制冷量*：
      1，600-2，000 瓦 @ 20°C，20°C 設(shè)施用水
      ，具體取決于冷板和工藝流體
      加熱能力**：
      3，000-3，400 瓦 @ 20°C，20°C 設(shè)施用水
      ，具體取決于冷板和工藝流體
      冷卻液/工藝流體：
      氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
      工藝流體接頭：
      1/2“ 世偉洛克 1/2" 世偉洛克（316 不銹鋼）
      泵：
      無刷直流磁力驅(qū)動離心機
      流量：
      （參見泵曲線）
      油箱容積：
      5.7 升（1.5 加侖），帶 2 個液位傳感器
      設(shè)施用水：
      8-12 升/分鐘（2-3 加侖/分鐘）@ 10-35°C 過濾、處理過的再循環(huán)設(shè)施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
      設(shè)施水配件：
      1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
      N2/CDA （必需）：
      500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
      30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
      接液材料：
      工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設(shè)施
      ：密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
      和不銹鋼
      尺寸（寬 x 深 x 高）：
      19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）
      重量：
      70 磅（31 千克）
      電源輸入：
      200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A
      斷路器：
      16 安培 200-250 VAC 2 極，帶 30 mA GFCI
      遠程EMO：
      外部干接點
      通信：
      泛林， 應(yīng)用材料公司，  RS232， 其他
      警報：
      溫度、液位、系統(tǒng)或組件
      故障（顯示、干接點和機器接口）
      標準：
      半 S2-0200，符合 F47 標準，CE
      保證：
      2 年
      *注意：冷卻能力會因配置和設(shè)施而異 水溫/流速

      
              
      



      

      
	
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                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
        
		
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